0
0
雪夜
发布时间：2025-06-04 18:44:01
|1024人浏览过
|来源于laoyaoba
转载
天眼查显示，合肥欣奕华智能机器股份有限公司“一种基于改善膜厚均一性的线性蒸镀装置”专利公布，申请公布日为2025年3月14日，申请公布号为cn119615066a。
☞☞☞AI 智能聊天, 问答助手, AI 智能搜索, 免费无限量使用 DeepSeek R1 模型☜☜☜
本发明公开了一种基于改善膜厚均一性的线性蒸镀装置，包括基板、基板传送导轨、挡板、点源和均匀改善机构，从上到下依次设置基板、基板传送导轨、挡板和点源，基板滑动设置于基板传送导轨上，挡板设置于基板传送导轨下方，均匀改善机构设置于挡板和点源之间并固定于挡板上；均匀改善机构包括移动组件和固定于移动组件上的异形块；移动组件可滑动设置于挡板上，异形块靠近点源设置；该线性蒸镀装置可以根据膜厚分布设计安装不同异形块，调节膜厚分布，改善大尺寸膜厚均一性，提高产品品质。
相关文章
合肥欣奕华“一种基于改善膜厚均一性的线性蒸镀装置”专利公布
“5G+量子”虚拟电厂调度车网互动 超6000辆次新能源汽车参与
正帆科技落户合肥新站高新区，ALD先进涂层材料及超高纯大宗气体项目签约
清华大学汪玉、杨华中团队获得第31届高性能计算机体系架构国际研讨会（HPCA）最佳论文荣誉提名奖
维信诺：拟对全资子公司霸州云谷业务规划进行调整
本站声明：本文内容由网友自发贡献，版权归原作者所有，本站不承担相应法律责任。如您发现有涉嫌抄袭侵权的内容，请联系admin@php.cn
热门AI工具
Copyright 2014-2025 https://www.php.cn/ All Rights Reserved | php.cn | 湘ICP备2023035733号
